1896 J. Perrin misura l’intensità dei raggi X usando una camera a ionizzazione ad aria

1909 C. G. Barkla osserva le soglie di assorbimento

1911 C. G. Barkla osserva le righe di emissione che denota con le lettere K, L, M, N. .

1912 M. von Laue, W. Friedrich e E. P. Knipping dimostrano la diffrazione di raggi X da cristalli

1913 W. L. Bragg e W. H. Bragg costruiscono il primo spettrometro a raggi X

1913 H. G. J. Moseley trova la relazione fra lunghezza d’onda delle linee di emissione X e numero atomico. Egli osserva anche che nell’ottone le righe del rame sono più intense di quelle dello zinco. Si gettano così le basi per l’analisi qualitativa e quantitativa della spettrometria a raggi X.

1913 W. D. Coolidge introduce il filamento caldo nel tubo a scarica; ha origine il progenitore dei moderni tubi a raggi X.

1913-1921 M. Siegbahn misura le lunghezze d’onda degli spettri X degli elementi chimici

1922-1923 Compton osserva una componente diffusa di raggi X con lunghezza d'onda più lunga; Scattering Compton.

1922.1923 Compton ossserva la riflessione totale dei raggi X ad incidenza radente indicante che l'indice di rifrazione è leggermente inferiore ad 1.

1923 D. Coster e G. von Hevesy scoprono l’afnio, il rimo elemento ad essere identificato attraverso il suo spettro X

1924 W. Soller costruisce uno spettrometro a raggi X usando un collimatore a fogli metallici paralleli

1924 Carrara suggerisce di usare reticoli di diffrazione per studiare spettri X

1926 Compton e Doan sono i primi nell'ottenere tali spettri X

1928 H. Geiger e W. Muller sviluppano il rivelatore a gas

1946-1947 Prima osservazione della radiazione di sincrotrone

1948 Nascita dell'astronomia a raggi X

1951 Primi esperimenti con inserzione di dispositivi per radiazione di sincrotrone.

1961 Prime sorgenti a plasma.

1965 Prime zone plates ad alta risoluzione

1984 Prima dimostrazione di laser XUV

1994 Inaugurazione della sorgente europea di radiazione di sincrotrone ESRF (European Synchrotron Radiation Facility).